隨著人（rén）工（gōng）合成化合物越來越複雜，高（gāo）濃度難降解有（yǒu）機廢物對人類環境的危害越來（lái）越大，光氧（yǎng）催化廢氣處理（lǐ）裝置采用紫外（wài）線光源對廢（fèi）氣分子鏈進行淨化的專業技術。
第一重處理：運用253.7納米波段光（guāng）切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構。
第二重處理（lǐ）：取185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞後的分子或原子與O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉變成低分子化合物CO2、H2O等。
第三重處理：根據不同的廢氣成分配置7種（zhǒng）以上相對應的惰性催化劑，催化（huà）劑采用蜂窩狀金屬網孔作為（wéi）載體，全方位與光源接觸，惰性催化（huà）劑在338納米（mǐ）光源以（yǐ）下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反（fǎn）應，縮短（duǎn）廢氣（qì）與光源接觸時間，從（cóng）而提高廢氣淨化效率（lǜ），催化劑還具有類（lèi）似（sì）於（yú）植物光合作用，對（duì）廢氣進（jìn）行（háng）淨化（huà）效果。
通（tōng）過三重處理後的廢氣可達99%以（yǐ）上，淨化（huà）、脫（tuō）臭效果大大低（dī）於國家2008年頒布的惡臭汙染物排放標準（GB6514-2008）

其中一些化（huà）學行業石化、有機合成反應（yīng）設備排（pái）氣，印刷行業印墨中有機溶劑，機械行業機械噴漆，金屬製品產生的氣味，汽車行業汽車的噴漆、幹燥爐鑄件生（shēng）產設備排氣，五金、家私廠噴塗設備排氣等。第二、有機（jī）廢氣的危害：在生產中,有機廢氣的排放（fàng）一直是一個（gè）很突出的問題。

絕大多（duō）數有機廢氣對人體（tǐ）的健康都有害。如有機廢氣通過（guò）呼（hū）吸（xī）道和皮膚進（jìn）入人體後,能給人的呼吸、血液（yè）、肝（gān）髒等係統和器（qì）官造成暫時性的變化,尤其是苯並芘類多環芳烴能使人體（tǐ）直接致癌,危害人體健康。有機（jī）廢氣還會造成嚴重的大氣汙染。一（yī）些有（yǒu）機物進入大氣後，在一定條件下形成光化學煙霧。二（èr）惡英等難以處（chù）理的物（wù）質，瞬間（jiān）完全分解，實（shí）現達標排放。(是垃圾焚燒尾氣排放二惡英問（wèn）題的理想解決方案)1、無臭氧（yǎng）排放問題(低溫等離子設備存在臭氧排放（fàng）問題)。2、經濟適用：同樣規格的高溫等離子焚燒設備，價格不到燃氣焚燒RTO的二分之一，運營成本低於二分之一。