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光刻膠成分產能對生產車間 VOCs濃度(dù)的影響(xiǎng)

返回列表 瀏覽量:1332 發布日期:2020-10-20 23:03:04【 小(xiǎo)

  對列陣、彩膜、成盒加工工(gōng)藝進行了剖析,生產車間每條產品(pǐn)都生產。

  分布在3個車間中的線VOC濃度分布情況如下:(a)列陣車間。

  (a)Arrayworkshop。

  在1~12月進行的中線濃度測試,其結果如圖(tú)3所示。結果表明,陣列和(hé)CF車間產線4個位點的濃度分布情況基本一致(zhì),VCD抽壓區(A4、B4)的VOCs濃度分布最大,且呈A3>A2>A1,B4>B3>B2>B1的趨勢;通過分析生產流程得知,陣列車間產(chǎn)線(xiàn)Robot1向Coater1排出大量的(de)有機廢氣,排入Coater1進行點膠,然後根據(jù)Robot2排(pái)入VCD1進(jìn)行減壓幹躁,這一加工過程端會產生大(dà)量的有(yǒu)機廢氣(qì),排(pái)入VOCs解決係統軟(ruǎn)件(jiàn),這是由於門(mén)與機器機殼合合時存在間(jiān)隙,造成(A4)處VOCs自(zì)由散(sàn)發,因此VCD1排出區域VOCs濃度大於Coater1。類似地,彩膜車間產線與列陣車間產(chǎn)線一樣,在(zài)VCD2抽(chōu)壓區VOCs濃度比點(diǎn)膠區(Coater2)較大。成箱車間3個位置的VOCs濃度波動平穩,產線VOCs分(fèn)布較為均衡。

  各加工工藝產線揮(huī)出的有機物,按照外擴散法稀(xī)釋後,送到配對生產車間的每個角落,為掌握各主要生產車間的(de)VOCs濃度狀況,根據我國(guó)《公共場所衛生監測技術規範》,選(xuǎn)擇ppbRAE3000便攜式VOC氧氣檢測儀,對列(liè)陣、成盒、彩膜3個車間的全部VOCs濃度進行1~12月的(de)檢測,得到各車間VOCs均值(zhí)分布,如圖4所示。3個車間的VOCs均(jun1)值最大,波動範疇(chóu)為(4.14~11.19)×10-6,3月份最高值為1.119×10-5;彩(cǎi)膜(mó)車間(jiān)濃度次之(zhī),(4.56~9.70)×10-6;箱式車間濃度最(zuì)低值為(wéi)(1.96~7.88)×10-6。

  在生(shēng)產(chǎn)車間中,VOCs濃(nóng)度受許多因(yīn)素影響,如生產能力(lì)、膠(jiāo)料(liào)成分差異、機械設備密封性能差異(yì)、主要工藝參數差異等(děng),這些因素(sù)都會導致產品VOCs濃度(dù)的波動。生產規模越大,點膠用量越大,清洗車間內的VOCs濃度越高,其中,生產能力是關鍵影響因素。例(lì)如(rú),三月(yuè)份的生產能力比二月份(fèn)提高了(le)30%,圖4中的列陣、彩膜、盒式車間VOCs平(píng)均濃度分別提(tí)高了30%(2.05,1.90,1.15)×10-6。八月份成盒生產線VOC大(dà)幅下降的主要原因是八月份製造能力下降約5%。

  列陣車間所用光刻膠成分比較單一,主要成分丙二醇單甲醚冰醋酸酯(PGMEA)占80%~90%,脲醛樹脂占5%~15%;成盒車間關鍵應用的光刻膠成分(fèn)比較複雜,有黑膠、紅藍綠(RGB)三色膠、OC膠、PS膠等,促使彩膜車間臭氣更重,特對其進行科學研究。

  用不(bú)同光刻技術對彩色膠片車間VOCs產線進行檢測,結果見圖5,1~12月一(yī)年期間,林卡爾綠膠片產線VOCs平均濃度總體最大,波動範圍為(4.6~14.5)×10-6;紅膠片、藍膠片次之;黑膠片濃度總體最小(xiǎo),1~12月為(1.85~5.92)×10-6。

  由表1可以看出,除含有丙二醇單(dān)甲醚冰(bīng)醋酸酯(zhǐ)、色漿(jiāng)、防腐劑、環氧樹脂等成分的翠綠色光刻膠中含有大量的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二(èr)醇單甲醚等化學物質外,其(qí)他膠體均沒有這種化學成分,因此(cǐ)林卡綠膠產線的VOCs平均濃度(dù)較(jiào)高很可能與這兩(liǎng)個成分有關;同時,對比紅、藍(lán)、黑(hēi)三種色光刻膠的組成發現,其基礎化學成分基本一致,隻有(yǒu)PGMEA等成分存在(zài)差異(yì),黑膠的PGMEA含量(liàng)比其它兩種膠體少許多,僅(jǐn)占35%~45%,而紅膠、藍膠的含量分別(bié)為65%~73%,70%~79%,從圖5中可以看出(chū),丙二醇(chún)單(dān)甲(jiǎ)醚冰(bīng)醋酸酯的成分在潔淨區內增長幅度最大。

  

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