TFT-LCD工業生產的關鍵步（bù）驟包括列陣、彩膜、製盒、摸組等，如圖1所示（shì）。列陣製造工業廠房承擔著列陣（zhèn）基（jī）鋼板的生產製造，包括玻（bō）璃（lí）基板清理、PECVD、磁控濺射、光刻技術、離子注入、分離等工藝過程；彩色濾色片是TFT-LCD的關鍵部件，其基礎結構由玻璃（lí）基板(GlassSubstrate)、灰黑色引流矩陣(BlackMatrix)、彩色（sè）層(ColorLayer)、防護層(OverCoat)和ITO導（dǎo）電（diàn）膜等組成；盒體是列（liè）陣基鋼板和彩色（sè）濾色片經（jīng）清理、表層塗裝(PI)到原材料(PI)上，經過幹固、磨擦處理，分別在（zài）CF玻璃（lí）基板和列陣基鋼板上施膠（jiāo）、封框膠，然後分別在LCD上（shàng）塗裝、幹固、封框，最後在（zài）LCD上塗裝。

　　在（zài）TFT-LCD生（shēng）產過程中，工業廢氣引起列陣車間塗PI液、色膜車間塗PI液、RGB塗膠、防護（hù）膜(OC)、PS膜及成盒車間塗PI液等工序，而TFT-LCD在生產過程中造成了塗光、脫色和工業廢氣。VOCs排放方式分為兩種，一種是有機構排（pái）放，有機廢氣在車（chē）間內根據負壓力收集係統軟（ruǎn）件排汙到（dào）平（píng）頂的工業廢氣解決係統軟件進行（háng）點火處理；另一種（zhǒng）是無組（zǔ）織排（pái）放，生產車間（jiān）內沒有（yǒu）收集到的工業（yè）廢氣部分（fèn）根據通風冷卻裝置逃逸；還有一種是VOCs汙水、廢水和固體廢棄物無組織排放的處理方式。潔淨生（shēng）產車間VOCs異味嚴重，為確保員工的身心健康和工作效能，保證?員工（gōng）學會放下（xià）對異味（wèi）的擔憂，特對（duì）各生產工藝流程VOCs無組織排放情況進行監督，並采取有效對策降低車間VOCs濃度值。

　　根（gēn）據我國《公共場所（suǒ）衛生監測技術規範（fàn）》的規定，檢測（cè）所用儀器為英國華瑞（ruì）ppbRAE3000便攜式VOCs檢測儀，該儀器具有200種不同的（de）氣泡體，能（néng）靈活地（dì）反映所使用的檢測範（fàn）圍，達到1×10-9~1×10-2，對TFT-LCD加工過程中產生的N-羥基甲（jiǎ）酰胺、丙二醇（chún）甲醚冰醋酸酯(PGMEA)、乙酸丁酯、乙二醇單（dān）甲（jiǎ）醚、N-羥基吡（bǐ）咯烷酮(PGMEA)等化（huà）學物質進行檢測。圖2列陣、色膜、製盒工藝產（chǎn）線（xiàn）VOCs檢測定位點遍（biàn）布。

　　由於TFT-LCD工業（yè）化生產全過程中（zhōng），揮發性（xìng）有機（jī）物的關鍵成分來自光刻技術（shù）和PI液的應用產線，如列陣（zhèn）車間的塗膠（jiāo）(Track)線，彩膜車間的塗膠設備線，以及PI液成盒噴（pēn）塗生產線，所以這類產線上的檢驗點關鍵設置，如圖2所示。陣列車間塗膠線采用PGMEA光刻膠（jiāo）組分，根據加工工藝構造，每條線設4個檢驗定位點，分別為Robot區(A1)、塗膠區（qū）(A2)和（hé）Robot區(A3)。彩膜車間（jiān）應用VCD抽壓區(A4)，光刻膠組分十分（fèn）複（fù）雜（zá），有灰黑色膠(BM)，綠（lǜ）紅和藍三色膠(RGB),OC,PS等加工工藝產（chǎn）線，其生產工藝結構與（yǔ）列陣塗膠線相似，每條線也設4個監測點，分別為羅布區(B1)，羅布區(B2)，羅布區(B3),VCD抽壓區(B4)。PI液成分主要為N-羥基吡咯烷酮（tóng），根據其加工工藝構造，在成盒車間內每條線上設置3個監測點，分別為Robot區(C1)、PI液噴漆區（qū）(C2)、Robot區(C3)。為了深入分析VOCs的分布和模擬模擬工作人員很可能吸收的標準（zhǔn），驗證定位（wèi）點高寬比均在1.5m(吸氣帶高寬比)。