OC膜點膠主要(yào)是提升(shēng)一(yī)層,以便更(gèng)好地(dì)平整。
防護層,PS光阻施(shī)膠主要是為了改善光透過狀況,提升?LCD飽和度。光刻工(gōng)藝中,OC的主要組(zǔ)分為60%~80%的丙二醇甲醚(mí)冰(bīng)醋酸和5%~30%的二乙二醇甲藥乙醚;而PS光刻工藝中,冰醋酸含量不到1%,乙二醇甲藥乙醚含量超過60%,以及10%~25%的智能單片(EEP)。PS膠和OC膠均含有兩種化學(xué)物質,即丙二醇甲醚和乙二醇甲醚,其成分有很大差別,圖(tú)6表明,兩條生產線VOCs的(de)平均濃度均處於較高水平(píng),OC線整年平均濃度為(4.78~12.3)×10-6,PS線高些為(4.89~12.80)×10-6。結果(guǒ)表明:丙二醇甲醚(mí)冰乙酸和二乙二醇(chún)甲乙醚這兩種化學物質對(duì)生產(chǎn)車間VOCs濃度均有很大的(de)危害。
降低生產車間VOCs的關鍵環節依賴於源頭控製,當無法根據替(tì)代物、尋(xún)找原料的低組成、環(huán)境(jìng)汙染(rǎn)小以及(jí)無法對(duì)生產線設備進行徹底封閉處理時,根據選擇的沸石吸咐機器設備對整個目標區域的旋(xuán)風進行收集,然後用沸石轉輪機器設備進(jìn)行集中(zhōng)運輸,這是很好的選擇[15]。工程前期,首先對(duì)3條加工(gōng)工藝生產線(xiàn)安裝沸石滾輪開展示範點建設。圖7為選擇沸石吸咐的機器設備對(duì)總體目標區域的氣旋進行收集(jí),然後根據沸(fèi)石進行吸咐解決,吸咐解決後清潔氣體立即排入潔淨(jìng)室,部分清潔氣體通過電加熱器加熱後,按照再造離心風機對沸(fèi)石進行高溫吸附,脫附後的高濃度有機廢氣排入平屋VOCs解決係統軟件進行燃燒處理。柱(zhù)式沸石吸咐設備的關(guān)鍵部位(wèi)有4個區域:分離區域、再生區域、冷卻區域、加溫區域。解決區是對(duì)清潔間VOCs進(jìn)行吸附的區域;再造區是對附著(zhe)在沸石上的有(yǒu)機(jī)物進行高溫分析和去除的區域;製冷區是將因高溫而不變暖的再造(zào)區冷(lěng)卻至淨化室氣體的區域;而加溫區則(zé)是根據製冷區的加熱氣體加(jiā)熱至再造溫度的區域。1地鐵線路為科學研究這3條線路的VOCs濃度,正(zhèng)在安裝沸石轉。
對輪式設(shè)備在維修前、更新改造後全過程(chéng)中及更新改造後運行環節的(de)變化情(qíng)況,進行了分析檢驗。
每行設(shè)置3個校驗點(Social1、2、3),校驗結果(guǒ)見圖8。研究表明,在未安裝沸(fèi)石機械設備的情況下,1,2,3地鐵線路的VOCs均值分別為(6.60,5.32,5.65)×10-6;在運行環(huán)節上,VOCs均值分別為(2.16,2.09,1.62)×10-6;運行(háng)環節上,1,2,3地(dì)鐵線路的VOCs均值分別(bié)為(2.16,2.09,1.62)×10-6;運行環節(jiē)上,1,2,3地鐵線路的VOCs均值分別為(2.09,1.62)×10-6。
本文對中國一家TFT-LCD生產製(zhì)造企業(yè)的各個生產車間的VOCs濃度分布進行了(le)科學研究。研究表明,TFT-LCD陣列車間(jiān)VOCs濃度均值最大,CF合成箱車間次之;VOCs濃度在陣列和CF車間VOCs濃度最大(dà),且在生產車間VOCs濃度分布比較平衡(héng);生產車間VOCs濃度受生產能力、膠料成分差(chà)異、機械設備密封性(xìng)、加工工(gōng)藝主要參數差異等因素(sù)的(de)影響,在車間VOCs的主(zhǔ)要來源是化學物質,如PGMEA、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單甲(jiǎ)醚、丙二醇甲醚(mí)、二乙二(èr)醇甲藥醚等。
在TFT-LCD生產製造車間,VOCs濃度下降的關鍵所(suǒ)在(zài)在於操縱杆操作,加(jiā)了藥沸石吸盤等機械設備後,VOCs減少在生產製造車間實際效果顯著,能去除(chú)大約60.71%~71.33%的工業廢氣,為事後提出減少VOCs的對(duì)策提供了基本的理(lǐ)論依據。